Метод полихроматической интерференционной микроскопии с цифровой записью и обработкой интерференционных изображений для субмикронных измерений параметров микрорельефа поверхности и параметров объемных слоистых структур.









Институт проблем точной механики и управления РАН
Официальный сайт Института проблем точной механики и управления РАН
Метод полихроматической интерференционной микроскопии с цифровой записью и обработкой интерференционных изображений для субмикронных измерений параметров микрорельефа поверхности и параметров объемных слоистых структур.