Метод полихроматической интерференционной микроскопии с цифровой записью и обработкой интерференционных изображений для субмикронных измерений параметров микрорельефа поверхности и параметров объемных слоистых структур.
Институт проблем точной механики и управления РАН (ИПТМУ РАН)
Обособленное структурное подразделение ФИЦ СНЦ РАН