Сравнительный анализ различных подходов к расчету собственных частот чувствительных элементов МЭМС-гироскопов

Статья подготовлена сотрудниками: д.ф.-м.н Барулина М.А.. д.т.н., проф. Панкратов В.М..
на базе: Лаборатория анализа и синтеза динамических систем в прецизионной механике.


Анотация

Проведено сравнение различных моделей, использующихся для определения собственных частот чувствительного элемента микромеханических гироскопов на этапе их проектирования. Обсуждается применение математических моделей, рассматривающих чувствительный элемент как дискретную систему, и конечно-элементное моделирование с помощью элементов, учитывающих классическую теорию изгиба Эйлера—Бернулли и теорию Тимошенко. Даны конкретные рекомендации по про­ведению исследования микромеханических датчиков и определения их собственных частот

Ключевые слова: микромеханический гироскоп, конечно-элементное моделирование, собственные частоты, теория Тимошенко

DOI 10.17587/mau.18.196-202

Ссылка на статью

Цитировать эту статью:

Панкратов В. М., Барулина М. А. Сравнительный анализ различных подходов к расчету собственных частот чувствительных элементов МЭМС-гироскопов. // Мехатроника, автоматизация, управление. 2017. том 18. №3. стр.196-201 (РФФИ)

О журнале Мехатроника, автоматизация, управление