Влияние неизотропности материала на деформацию чувствительного элемента микромеханического акселерометра

Статья подготовлена сотрудниками: д.ф.-м.н Барулина М.А.. Галкина С.А..
на базе: Лаборатория анализа и синтеза динамических систем в прецизионной механике.


Анотация

Исследовано влияние ортотропности материала на характеристики чувствительного элемента (ЧЭ) температурно-возмущенного микромеханического акселерометра. Для этого была рассмотрена деформация и собственные колебания равномерно нагретого ЧЭ при его совмещении с различными кристаллографическими плоскостями кремния. При этом принималось во внимание возможное несовпадение кристаллографических направлений и осей системы координат, связанной с акселерометром. Было показано, что выбором кристаллографической плоскости, с которой совмещается плоскость ЧЭ, можно снизить зависимость его характеристик от рассогласования осей системы координат и кристаллографических направлений при наличии тепловых воздействий.

Ключевые слова: МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР, ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ, КРЕМНИЙ, КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКАЯ ПЛОСКОСТЬ, ОРТОТРОПНОСТЬ, СОБСТВЕННЫЕ ЧАСТОТЫ, ТОРСИОНЫ, ЗАКОН ГУКА, НАПРЯЖЕННО-ДЕФОРМИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ, MICROMECHANICAL ACCELEROMETER, SENSING ELEMENT, SILICON, CRYSTALLOGRAPHIC PLANE, ORTHOTROPIC, SELF OSCILLATION, TORSIONS, HOOKE''S LAW, MODE OF DEFORMATION

DOI 10.17587/nmst.21.14-23

Ссылка на статью

Цитировать эту статью:

Галкина С.А., Барулина М.А. Влияние неизотропности материала на деформацию чувствительного элемента микромеханического акселерометра//Нано- и микросистемная техника. 2019. Т. 21. № 1. С. 14-23

О журнале Нано- и микросистемная техника