Конференция
подготовлена сотрудниками:
д.ф.-м.н Барулина М.А..
Романов Р. А..
на базе:
Лаборатория анализа и синтеза динамических систем в прецизионной механике.
Аннотация
В работе рассматриваются проблемы построения математических моделей
динамической деформации планарных чувствительных элементов МЭМС/НЭМС
датчиков с использованием нелокальных теорий деформации. Нелокальные теории деформации позволяют исследовать напряжено-деформированное состояние
компонентов МЭМС/НЭМС датчиков имеющих размеры 100−2000 нм. При таких размерах нарушается гипотеза сплошности среды, что делает затруднительным применение классических теорий сплошной среды. В работе была построена корректная математическая модель деформации планарного чувствительного элемента. Чувствительный элемент был представлен в виде тонкой
однородной размерно-зависимой пластины под действием сложной распределенной нагрузки. В качестве теории деформации была использована нелокальная
теория градиентов, кинематические соотношения были сформулированы на основе теории деформации пластин третьего порядка. Полученные уравнения полностью корректные и могут использоваться для дальнейшего анализа динамики
размерно-зависимых планарных чувствительных элементов различных датчиков.
Ссылка на информацию на сайте издательства
Цитировать:
Р.А. Романов, М.А. Барулина. Проблемы исследования напряженно-деформированного состояния чувствительных элементов МЭМС/НЭМС-датчиков // Международный семинар «Навигация и управление движением» (NMC 2023). Материалы / Под редакцией В.Г. Пешехонова, академика РАН, и члена-корреспондента РАН О.А. Степанова, проф. / АО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», Санкт-Петербург, Россия, 2023. С15-16