Публикация
подготовлена сотрудниками:
к.т.н. Голиков А.В. .
Голикова О. В..
Маркелова О.В..
к.ф.-м.н., доцент Панкратова Е.В..
на базе:
Лаборатория анализа и синтеза динамических систем в прецизионной механике.
Аннотация
Рассматривается оценка динамических свойств чувствительного элемента (ЧЭ) балочного типа микромеханического гироскопа или акселерометра как распределенной системы. Такой подход позволяет не только получить математическую модель для анализа и синтеза частотных свойств, но и оценить волновые процессы в чувствительном элементе микромеханического гироскопа.
Ключевые слова: МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП, ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ, ПРЕОБРАЗОВАНИЕ ФУРЬЕ, АМПЛИТУДНО-ЧАСТОТНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА, MICROMECHANICAL GYROSCOPE, SENSITIVE ELEMENT, FOURIER TRANSFORM, GREEN''S FUNCTION, AMPLITUDE-FREQUENCY CHARACTERISTIC, TRANSFER FUNCTION
Ссылка на информацию на сайте издательства
Цитировать:
Панкратов В.М., Голиков A.В., Панкратова Е.В., Голикова О.В., Маркелова О.В. Анализ динамики чувствительного элемента балочного типа микромеханического гироскопа путем построения амплитудно-частотных пространственных характеристик // Нано и микросистемная техника. 2019. Том 21. №1 С. 35-39