Анализ динамики чувствительного элемента балочного типа микромеханического гироскопа путем построения амплитудно-частотных пространственных характеристик

Статья подготовлена сотрудниками: к.т.н. Голиков А.В. . Голикова О. . Маркелова О.В.. д.т.н., проф. Панкратов В.М.. к.ф.-м.н. Панкратова Е.В. .
на базе: Лаборатория анализа и синтеза динамических систем в прецизионной механике.


Анотация

Рассматривается оценка динамических свойств чувствительного элемента (ЧЭ) балочного типа микромеханического гироскопа или акселерометра как распределенной системы. Такой подход позволяет не только получить математическую модель для анализа и синтеза частотных свойств, но и оценить волновые процессы в чувствительном элементе микромеханического гироскопа.

Ключевые слова: МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП, ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ, ПРЕОБРАЗОВАНИЕ ФУРЬЕ, АМПЛИТУДНО-ЧАСТОТНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА, MICROMECHANICAL GYROSCOPE, SENSITIVE ELEMENT, FOURIER TRANSFORM, GREEN''S FUNCTION, AMPLITUDE-FREQUENCY CHARACTERISTIC, TRANSFER FUNCTION

DOI 10.17587/nmst.21.35-39

Ссылка на статью

Цитировать эту статью:

Панкратов В.М., Голиков A.В., Панкратова Е.В., Голикова О.В., Маркелова О.В. Анализ динамики чувствительного элемента балочного типа микромеханического гироскопа путем построения амплитудно-частотных пространственных характеристик // Нано и микросистемная техника. 2019. Том 21. №1 С. 35-39. DOI: 10.17587/nmst.21.35-39 http://www.microsystems.ru/info_publ.php?d=2019&n=1&s=35&f=39

О журнале Нано- и микросистемная техника