Конференция
подготовлена сотрудниками:
д.ф.-м.н Барулина М.А..
Галкина С.А..
на базе:
Лаборатория анализа и синтеза динамических систем в прецизионной механике.
Аннотация
В работе рассматривается влияние выбора кристаллографической плоскости чувствительного элемента микромеханических датчиков инерциальной информации на его характеристики в условиях тепловых воздействий на примере микромеханических гироскопов различных конструктивных схем. Для исследования были выбраны основные кристаллографические плоскости кремния, с которыми совмещают плоскости чувствительных элементов МЭМС-датчиков. Для каждого варианта было изучено влияние несовпадения кристаллографических направлений материала чувствительного элемента и его координатных осей на деформацию и собственные колебания чувствительного элемента в присутствии тепловых воздействий. В работе показано, что полученные для различных конструктивных схем чувствительного элемента микромеханического гироскопа результаты влияния выбора кристаллографической плоскости чувствительного элемента и угла рассогласования кристаллографических направлений и координатных осей практически совпадают друг с другом. Показано, что выбором кристаллографической плоскости, с которой совмещается плоскость чувствительного элемента гироскопа, можно снизить зависимость деформации температурно-возмущенного чувствительного элемента от угла рассогласования между направлением осей его системы координат и кристаллографическими направлениями.
Ключевые слова: МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП, ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ, КРЕМНИЙ, КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКАЯ ПЛОСКОСТЬ, СОБСТВЕННЫЕ ЧАСТОТЫ
Ссылка на информацию на сайте издательства
Цитировать:
Барулина М.А., Панкратов В.М., Галкина С.А. Влияние кристаллографической плоскости чувствительного элемента микромеханических гироскопов на его характеристики в условиях тепловых воздействий // Материалы XXXI конференция памяти выдающегося конструктора гироскопических приборов Н.Н. Острякова. 2018. С 78-86.